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 首页 > 产品展示 > INFICON扑克检漏设备 > 氦质谱官网 > 氦质谱官网,德国品质
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产品型号:
INFICON UL1000
产品名称:
氦质谱官网,德国品质
产品报价:
产品特点:
氦质谱官网,德国品质INFICON UL1000移动式氦官网专门设计用于满足苛刻的工业检漏要求:具有耐用性强、测试灵活、灵敏度高、启动快,响应准确迅速,系统安可靠等特点。
  INFICON UL1000氦质谱官网,德国品质的详细资料:

氦质谱官网,德国品质

UL1000符合微电子 工业生产 的要求。从坚固的金属外壳 到方便移动 的 滚轮 ,至 I·C AL, 用于解除在10 -11 至10 -12 高灵敏漏率范围中长平衡时间 的运算法则,都无不显示了其优越性。

系统软件包含带有故障查找指令的先进自诊断程序。并可调用防止氦气或工艺扑克污染的保护功能。UL1000的通风系统不会干扰通常清洁室中从天花板至地面的空气流动。涡轮分子泵的抽速和压缩比可降低并解除氦污染。

UL1000氦质谱官网,德国品质具有可转动的蜗牛界面,装在app商的显示器用十分清楚的大型字体显示测量结果于状态信息,这样可远距离方便地观察读值。 通过更新软件,新的固件可通过标准接口在数分钟内完成安装。

应用:

  • 半导体工艺设备的维护,该设备本身带或未带有涡轮分子泵
  • 工艺扑克系统的检测与安装
  • 元器件在组装前的漏率测试
  • 要求高抽速、高灵敏度以及清洁测试条件的应用场合

 

技术参数:

 

最小可检漏率(按AVS2.1和EN1518标准)<5×10-12mbar.l/s
最小可检漏率(吸入模式)<3×10-8mbar.l/s
入口压强粗检模式15mbar
精检模式2mbar
超精检模式0.4mbar
抽泵抽速16-25立方米/小时
氦气抽速(进气口处)粗检模式8升/秒
精检模式7升/秒
超精检模式2.5升/秒
可检质量数2、3、4amu,氢,3氦,氦
电源电压110-120V;220-240V
重量110公斤;242磅
尺寸,包括手把(长×宽×高)1068×525×850毫米

 

   
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