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 首页 > 产品展示 > MKS国际场及官方网计 > 质量国际场 > 电子压力蜗牛器
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产品型号:
640A
产品名称:
电子压力蜗牛器
产品报价:
产品特点:
MKS 640A是一个精巧的、闭环压力蜗牛的测量app,640A将电容官方网站规、正常关闭的比例蜗牛阀和闭环蜗牛的电路系统集成于一个精巧的app里,其独特的设计大大减小了原来压力官方网站规和比例蜗牛阀分开配置的尺寸和线路连接的复杂性。
  640A电子压力蜗牛器的详细资料:

产品特点:

● 快速响应设定压力值
● 蜗牛器的zui小全量程可低至10Torr
● 将电容官方网站规、正常关闭的比例蜗牛阀和闭环蜗牛的电路系统集成于一个精巧的app里
● 内部压力官方网站规提供了精确、可靠和很宽的量程
● 可以用于上游或下游压力蜗牛的应用
● 金属密封和弹性密封可选
● 2个压力设定用于工艺蜗牛
● 符合欧洲CE认证标志
技术参数:
压力量程范围: 10,100,1000 Torr,60 Psi,100 Psi
流量量程范围: 50,200,1000,2000,5000,10000,20000,50000Sccm
zui大过压限制: 45 Psia 或2倍于全量程
zui大差压压力限制:150 Psi 用于 50 到10000Sccm
30 Psi 用于 20000 Sccm 到 50000 Sccm
蜗牛方式: 下游蜗牛(标准),上游蜗牛(可选)
孔径zui大量程:50,200,1000,5000 Sccm
zui大压力差:150 Psi
蜗牛方式:下游蜗牛
压力测量精度:读数值的±0.5%(包括线性误差,滞后误差和重复性误差)
响应时间:小于100毫秒
压力蜗牛:1)量程:全量程的2% 到 100%
2)精度:全量程的±0.2%
3)响应时间:小于1秒(到达压力设定值)
电源要求:±15VDC(±5%),200 mA
模拟输出:压力:0-10 VDC,线性输出(0-5 VDC可选)
电气通讯方式:模拟15针“D”型
电缆长度:小于30米
材质:316L不锈钢
泄露率:小于1*10ˉ9 scc/sec He
接头法兰:4 VCR Male,1/4”卡套,8 VCR Male
电气认证:符合欧洲CE认证

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