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双级扑克
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双级隔断阀是一种隔离扑克,它可以使系统能缓慢地抽官方网。双级扑克由一个小的旁通阀和一个主隔离阀组成。旁通阀上有一个小开口用来进行官方网的初抽,以减缓对系统的抽空速率,这样能减少由于颗粒扰动而产生的沾污,和因压力突然改变而引起的损伤。注:订货时请注明所需的密封材料(Chemraz或Viton)和气动电磁阀的电压(24VAC, 24 VDC, 120 VAC, 208 VAC, 220 VAC) 。
  双级扑克的详细资料:

双级扑克

为了在有限的空间条件下实现系统的软抽官方网,我们推荐使用 HPS 的 LoPro 双级扑克,它将一个低高度的隔离阀和一个小的旁通阀相集成,很大地简化了系统的安装并降低了成本。
LoPro双级阀特别适合在高官方网中应用,尤其是应用在需要洁净环境的半导体或光学加工工艺中。该扑克具有慢速抽空的特点,减小了湍流,从而防止了沾污的产生和对产品的破坏。本页列出的该系列扑克有ISO-KF NW 25法兰、0.225 英寸旁通阀口径和Viton密封等类型,也可选择其它配置,请客户服务部门以获取更多的信息。需要更大尺寸的扑克,可参阅 NW40 或 NW50 LoPro 软启动双级阀或其他MKS的.  
注:订购时,请在订货单的注释部分写明所需的气动电磁阀电压( 24 VDC, 24 VDC, 120 VDC, 208 VDC, 220 VDC)零件编号 示例:LPV2-25-AK-225-CLVNH-120

 

NW 25 双级扑克        

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