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产品型号:
1479A
产品名称:
质量国际场
产品报价:
产品特点:
1479A是一种坚固的金属密封的质量流量蜗牛器,可在多种应用场合测量和蜗牛有腐蚀性扑克的流量,特别是可重复性要求高的场合。配上合适的压力蜗牛器,它还可以作为压力蜗牛器使用。
  1479A质量国际场的详细资料:

1479A

流量比例蜗牛器(金属密封) 

1479A是一种坚固的金属密封的质量流量蜗牛器,可在多种应用场合测量和蜗牛有腐蚀性扑克的流量,特别是可重复性要求高的场合。配上合适的压力蜗牛器,它还可以作为压力蜗牛器使用。

对于当今市场上的质量流量蜗牛器,1479A可作为直接替代的产品,标准的3英寸底座使1479能够直接进行安装而无需改变现有的扑克管道。它具有数字和模拟两种模式,其精度为全量程的1%

 

技术参数:

全量程:10SCCM20SCCM50SCCM100SCCM200SCCM500SCCM1000SCCM2000SCCM5000SCCM10000SCCM20000SCCM

蜗牛量程:2% to 100% 的全量程。

测量精度:全量程的1%

灵敏度:全量程的0.1%

热机时间:小于2Min.

响应速度:小于2Sec.

输入电压:±15VDC@100ma

输出电压:0-5VDC

连接器:模拟: 9Pin15Pin20Pin Card edge.

        数字:RS485Device netProfibus

法兰接口:Swagelok 4VCRSwagelok4 VCOSwage 1/4”

材质:316 不锈钢。

质保期:有限保修自售出之日起12个月。

 

例:型号1479A00411CR1A6MXX                                                    采购序列号        

1479A                                                                      1479A

 

校准扑克(SEMI扑克编号)*

Helium, He                                                          001

Argon, Ar                                                           004

Hydrogen, H2                                                       007

Nitrogen, N2                                                         013

Oxygen, O2                                                         015

 

校准流量SCCMsccm相当氮气

10                                                                                                             11C                      

20                                                                                                             21C                     

50                                                                                                             51C                     

100                                                                                                           12C                     

200                                                                                                           22C                     

500                                                                                                           52C                     

1000                                                                                                         13C                     

2000                                                                                                         23C                     

5000                                                                                                         53C                     

10000                                                                                                       14C                     

20000                                                                                                       24C                     

 

装配件

标配:(兼容SwagelokR4VCRR凸接头                                                  R                         

选配:(兼容VCOR管道                                                                         G           

选配:(兼容SwagelokR0.25英寸管道                                                    S                         

C密封表面贴装符合 SEMI 2787.1标准                                              C                         

W密封表面贴装,符合 SEMI 2787.3F标准                                              H                                

扑克

常闭                                                                                                         3                         

 

 

 

型号1479A(续)

 

 

采购序列号

连接器                                                                                                  

模拟型:

9针D型接口                                                                                            A                         

15针D型接口                                                                                          B                         

15针边缘卡接口                                                                                       C                         

单元设备15针D型接口                                                                           N                         

 

数字型:

RS-485                                                                                                     5                         

DeviceNetTM                                                                                              6                  

             

 

密封

金属,Kel-F 阀栓,≦200 sccmTeflon 阀栓,≧500sccm                          M                 

 

      

固化软件版本(仅对DeviceNetTM

除非特别说明,MKS将发运订货时zui新的固化软件版本                           XX                      

 

用于1479A的电缆线

CB147-12-10用来将1479 9针D型接口连接至PR4000, 146, 186, 246, 247, 167, 647

CB259-5-10用来将1479 15针D型接口连接至246, 247                     

CB147-1-10用来将1479 15针D型接口连接至PR4000, 146, 186, 167, 647

CB259-10-10用来将1479 20针边缘卡接口连接至246, 247                            

CB147-7-10用来将1479 20针边缘卡接口连接至PR4000, 146, 186, 167, 647    

产品相关关键字: 1479A 质量国际场 MKS质量国际场
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