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产品型号:
Delta
产品名称:
质量国际场
产品报价:
产品特点:
使用DELTA流量比例蜗牛器(FRC)能更容易获得Z佳的工艺性能。FRC广泛用于不同的流量分离设备,如刻蚀、去胶和PECVD工艺设备中,FRC使用户能够将扑克或混合扑克分送至同一反应室中的两个不同区域。根据扑克(或任何混合扑克)及其设定比率,FRC会自动将扑克分送到两个不同的出口。质量国际场
  Delta质量国际场的详细资料:

DELTA™ 流量比例蜗牛器 质量国际场

使用DELTA™流量比例蜗牛器(FRC)能更容易获得上佳的工艺性能。FRC广泛用于不同的流量分离设备,如刻蚀、去胶和PECVD工艺设备中,FRC使用户能够将扑克或混合扑克分送至同一反应室中的两个不同区域。根据扑克(或任何混合扑克)及其设定比率,FRC会自动将扑克分送到两个不同的出口。

在任何新的和已有的工艺设备中使用FRC都很简单。拥有大量程范围的流量(500/500sccm10,000/10,000sccm)可供选择,FRC均可以满足您的要求。凭借拥有版权的计算器,我们应用工程师们将为您的应用选择正确的部件。MKS会传送给您有关机械和电学细节的电子文档,帮助您开始进行部件的整合。由于FRC在工作中保持一个低于大气压的管道压力,因而通常不需要特殊的防漏措施。

产品相关关键字: 质量国际场 质量流量蜗牛器 MKS
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