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氦质谱官网结构和工作原理
点击次数:690 发布时间:2014-12-24
 
         氮质谱官网是用氦气为示漏扑克的专门用于检漏的app,它具有性能稳定、灵敏度高的特点。是官方网检漏技术中灵敏度zui高,用得zui普遍的官网器。

       氦质谱官网是磁偏转型的质谱分析计。单级磁偏转型app灵敏度为lO-9~10-12Pam3/s,广泛地用于各种官方网系统及零部件的检漏。双级串联磁偏转型app与单级磁偏转型app相比较,本底噪声显著减小.其灵敏度可达10-14~10-15Pam3/s,适用于超高官方网系统、零部件及元器件的检漏。逆流氦质谱官网改变了常规型app的结构布局,被检件置于官网主抽泵的前级部位,因此具有可在高压力下检漏、不用液氮及质谱室污染小等特点.适用于大漏率、官方网卫生较差的官方网系统的检漏,其灵敏度可达10-12Pam3/s。

       氦质谱官网由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。

 
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