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如何选择INFICON官方网计

点击次数:2254 发布时间:2012/9/18
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  如何选择INFICON官方网计
  
  一,皮拉尼官方网计
  
  1.皮拉尼官方网计原理
  
  加热电阻丝,使之升温至需要的工作温度
  
  由于扑克粒子与电阻丝碰撞离开时带走了能量,电阻丝的温度会发生变化
  
  热丝的能量损失与热丝周围的扑克浓度及扑克成分成比例关系
  
  2.衍生出两种类型的皮拉尼规
  
  1,稳定温度,测量施加的电压变化等效测量官方网度(INFICONPSG500)
  
  2,稳定电压,测量温度变化等效测量官方网度(热偶规)
  
  3.扑克的热传导,与下列提条件有关:
  
  1,扑克类型
  
  2,压力大小
  
  4.皮拉尼官方网计测量范围与精度
  
  测量范围(空气,氧气,一氧化碳,氮气):5x10-4至1000mbar
  
  精度(氮气):1x10-3…100毫巴±15%
  
  5x10-4…1x10-3毫巴±50%
  
  100...1000毫巴±50%
  
  5.皮拉尼官方网计的优特点
  
  灯丝部分在不影响精度与速度的情况下,加以zui大的保护,大大延长了灯丝的使用寿命
  
  6.皮拉尼官方网计具体型号
  
  lPSG050/051
  
  lPSG100-SPSG101-S
  
  lPSG500/500-SPSG502
  
  l皮拉尼电容膜片复合官方网计PCG400PCG410PCG550
  
  1.有皮拉尼规与特制的陶瓷官方网站规合成在一起
  
  2.两种原理的规管全过程都工作
  
  3.100mbar—1000mbar使用官方网站规信号
  
  4.1mbar–100mbar两规信号同时采用
  
  5.5x10-4mbar–1mbar采用皮拉尼信号
  
  6.输出的官方网度信号(电压)连续,无跳跃
  
  7.皮拉尼官方网计应用行业
  
  l各种高官方网泵的前级压力测量,如光伏,镀膜,等离子行业
  
  l各种中低官方网测量,如照明,冶金
  
  l官方网连锁蜗牛,高官方网计的点火开关蜗牛,如PEG100
  
  lPSG050可完全替代TR211,PSG051可完全替代TR216
  
  lPCG400PCG410(现在已升级为PCG550,PCG400/PCG410已经停产)与PSG500基本相同,但弥补了皮拉尼规大气测量段精度不足的弱点,而且不受扑克类型的影响,在官方网炉,单晶炉,多晶炉,蓝宝石炉上广泛应用
  
  lPSG100PSG101,与PSG500/PSG050基本相同,但因为具有通讯协议功能,在大系统中应用广泛
  
  二,电容官方网站规CDG025D/CDG045/100/160/200
  
  1.电容官方网站规工作原理
  
  l压力使膜片变形,变形量与压力大小成比例关系
  
  l通过测量不同压力下的陶瓷膜片的变形量测量官方网度
  
  2.电容官方网站规特点
  
  l以可靠的超纯陶瓷传感器室为基础构成
  
  l在严酷和腐蚀性环境中,稳定与可靠的高精度压强测量
  
  l快速的预热和恢复时间,提高生产率
  
  l的长期稳定性,再现性和重复性
  
  l由于电子学直接安装在传感器上,改进了温度补偿和EMC兼容性
  
  l对环境条件变化的敏感度的降低使得测量更稳定
  
  l快速预热在开机的一分钟内达到快速稳定和进入准备使用状态
  
  l一键按钮:调零功能和设点调整
  
  l抗腐蚀超纯陶瓷传感器
  
  l能经受数百万次压强循环周期,包括大气压冲击,无任何降低性能的迹象
  
  l暴露大气压后快速恢复,无需隔离阀
  
  l对蒸气介质不敏感
  
  l先进的传感器屏蔽()延长官方网计在污染的工艺过程中的使用寿命
  
  3.INFICON陶瓷技术
  
  l陶瓷技术的优越性
  
  1,无“记忆”效应
  
  2,陶瓷无疲劳问题
  
  3,的温度补偿
  
  4,的零点稳定性
  
  l低使用成本
  
  1.非凡的使用寿命
  
  2.无需隔离阀
  
  4.SkyCDG025D测量范围
  
  5.加热型官方网站规
  
  6.加热型优点
  
  l零飘极小0.1%FS/年(干净官方网环境)
  
  l更高的精度
  
  l环境温度变换/环境压力变化/环境气流变化对精度无影响
  
  l比工艺更快的预热启动时间’
  
  l快速恢复时间大气压<1minwithin5mV
  
  l任意安装角度
  
  l抗污染,可有效抵抗工艺扑克或工艺产生扑克的腐蚀影响
  
  7.电容官方网站规的应用
  
  要求高的应用条件下,而快速的压强测量
  
  l用于刻蚀,CVD,PVD,ALD半导体设备制造,如太阳能光伏行业的PECVD用的很多,刻蚀上一般用陶瓷型的CDG025D-X3比较多,抗污染性能比较好。一般国内用的PECVD还有多晶炉上用的MKS的电容官方网站规622A/626A/627D和INFICON的CDG025D比较多,如德国Ruth&Rau公司的PECVD设备标配产品为MKS的626B13TDE和627D01TDC1B,质量国际场用的是1179BX23CR14VSPC1800sccm/SiH4和1179BX5CR14NSPC12000sccm/NH3,国内用的好多PECVD设备上用的是INFICON的CDG025D。
  
  l资料贮存和显示器制造设备
  
  l工业官方网设备
  
  l常用高精度官方网测量
  
  三,热电离规
  
  1.热电离规原理
  
  Richardson效应:高温灯丝发射电子,高能量电子撞击扑克分子,扑克分子的一个或多个电子被撞击出去,形成带正电的离子
  
  1)带电离子被离子收集极捕捉收集放大输出
  
  2)离子流的大小与扑克压力成比例关系
  
  2.两种类型热电离规
  
  3.热电离型复合规
  
  lHPG400
  
  lBPG400/-SP/-SD/SR
  
  lBPG402
  
  lBCG450B-A规,皮拉尼规,官方网站规三种型号复合在一起
  
  l
  
  4.优点及应用
  
  lBPG
  
  n测量范围宽,一个规管覆盖13个量程5x10-10–1000mbar
  
  n精度高,极好的重复性5%
  
  n灯丝材料镀钇的铱丝有极好的抗氧化能力,皮拉尼自锁保护,使灯丝并不会因突然暴露大气而烧毁。
  
  n方便的校准调节
  
  n注意事项:
  
  u对扑克有选择性
  
  u抗污染能力弱
  
  n普遍应用于从低到超高官方网的测量
  
  n在工业,半导体,研究行业应用广泛
  
  lBPG402
  
  n双灯丝,大大延长使用寿命
  
  n电离规的工作可以自定义蜗牛
  
  n探头备件自带校准参数,保证精度与重复性
  
  lHPG400
  
  n电离规与皮拉尼的复合
  
  n皮拉尼自锁保护电离规
  
  n电离规的工作启动点可以一定范围内自定义
  
  n简易的校准功能
  
  n相对便宜的价格
  
  lBCG450
  
  n可调的电离规工作起点
  
  n的重复性
  
  n的大气端测量
  
  四,冷电离规(潘宁规)
  
  1.冷电离规原理
  
  通过扑克放电方式产生电子,通过磁场使电子获得能量将扑克分子电离
  
  2.潘宁规特点与应用
  
  l测量范围:5x10-9to1x10-2mbar
  
  l全金属密封
  
  l无灯丝
  
  l易清洗
  
  l应用于普通的高官方网测量
  
  3.冷规复合规MPG400特点与应用
  
  l冷规与皮拉尼规的复合
  
  l测量范围广:5x10-9-1000mbar
  
  l易于保养清洗
  
  l无高官方网灯丝,
  
  l应用于普通高官方网测量
  
  4.冷规及复合规性能比较

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