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官方网泵选择的注意事项


发布日期:[2011-09-20] 共阅[2031]次

官方网泵选择的注意事项

 

1.官方网泵选择的原则

在设计官方网系统时,首先要正确选择官方网泵的类型,确定官方网泵的大小。

2.官方网泵类型的选择

在选择官方网泵的类型时,需要考虑的包括被抽官方网室要达到的极限压强和工作压强,被抽扑克的种类,和官方网泵采购的初始投资与运行中的日常维护费用。

3.官方网泵工作压强范围的选择

首先要根据被抽官方网室要达到的极限压强和工作压强,正确选择官方网泵的工作压强范围。

从设计与制造者的角度,每种官方网泵都有一定的工作压强范围,如:无油涡旋官方网泵的工作压强范围为大气~1Pa。在这样宽的压强范围内,泵的抽速随压强而 变化,其稳定的工作压强范围为10E410Pa。因而,无油涡旋官方网泵的工作点应该选在这个范围之内,而不能让它在大气下或者1Pa下长期工作。

从用户的角度看,官方网泵的工作压强应该满足被抽官方网室的极限官方网及工作压强要求,通常选择官方网泵的官方网度要高于官方网设备官方网度半个到一个数量级。例如:官方网镀膜要求1×10-5mmHg的官方网度,选用的官方网泵的官方网度至少要5×10-6mmHg

4.官方网泵大小的选择

选择官方网泵的大小,就是确定官方网泵的抽气能力。官方网泵大小的选择主要根据两点:

首先根据被抽官方网室工作时所需要的工作压强和室内的zui大排气流量来决定。每种泵都有其极限压强和zui佳抽速压强范围,官方网室内压强要在泵的zui佳抽速压强范围内。

其次还要根据官方网室的大小和抽气时间要求来选择。

另外官方网泵在其工作压强下,应能排走官方网设备工艺过程中产生的全部扑克量。但大部分工作压强是单独一种官方网泵所不能达到的。有的官方网泵不能在大气压下工 作,需要预抽官方网;有的官方网泵出口压强低于大气压,需要前级泵。所以需要正确地将不同的官方网泵组合成为官方网机组,以满足工作要求。

例如半导体行业官方网室体积较大,要求官方网室内工作环境清洁无油,抽气时间尽量短、以提高工作效率。这时抽速为1560立方米/小时(416/秒) 的无油涡旋官方网泵,可以与罗茨泵组成无油官方网机组,达到接近600立方米/小时(150/秒)的抽速,实现大抽速、清洁无油的目标,就能够很好的满足半 导体行业镀膜生产线的要求。

5.正确选择适合被抽扑克种类的官方网泵

由于官方网泵有选择性抽气,因而有时选用一种泵不能满足抽气要求,需要几种泵组合起来,互相补充才能满足抽气要求。比如分子泵需要前级粗抽泵启动,与无油涡旋官方网泵组合起来,便会使被抽官方网室得到良好的官方网度和清洁无油的官方网环境。

如果被抽官方网室要求清洁无油时,应该选各种无油官方网泵,如:无油涡旋官方网泵、螺杆泵、水环泵、溅射离子泵、低温泵以及分子筛吸附泵等。如果要求不严格,可以选择有油泵,加上一些防油污染措施,如加冷阱、障板、挡油阱等。

另外还应当考虑被抽扑克的种类,扑克中有无可凝蒸气、有无颗粒灰尘、有无腐蚀性等。选择官方网泵时,需要知道扑克成分,针对被抽扑克选择相应的泵。如果扑克中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性扑克,应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备,如冷凝器、除尘器等。

6.考虑官方网泵对周围环境的影响

如果工作场所周围环境不允许有污染,如洁净室等,就要选择无油官方网泵,如无油涡旋官方网泵等。

7.考虑官方网泵工作时产生的噪音与振动对工艺过程及环境的影响

若工艺过程不允许噪音与振动,如分析测试app,就应选择噪音低、无振动的官方网泵或者采取隔离罩、软连接等减噪、防振措施。

 

 
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